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製品情報

製品詳細

X線CTシステム

XVA-160αII“Z”

型式:XVA-160αII“Z”

XVA160αⅡ_左

製品概要

◇超高分解能◇ 縦照射型 斜めCTシステム XVA-160αII“Z”

X線CTシステム(XVA-160αII“Z”)の特徴

超高倍率2,000倍、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した、超高分解能モデルです。

標準仕様
・ユーセントリック機能
・超高倍率2000倍
・フォーカスサイズ切り替え機能(250/800nm)
・高精細トップテーブル
・光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能
・可視光マッピング機能

オプション機能
・3次元斜めCT機能
・直交CTユニット:Presto

機能紹介

◇ユーセントリック機能(特許取得済 No.3657768)◇
 着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能。
 独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時もサンプルを中央に捉え続けます。









●撮影事例(動画)





ユーセントリックあり





他社製品





 



◇3次元斜めCT機能(特許取得済 No.3694833)◇
 大型基板でも破壊せずに断層撮影が可能。
 ユーセントリック機能を利用し、斜め方向から観察して3次元断層撮影を行います。



お問い合わせ

ヤマト科学拠点営業またはX線CTグループ
X線CTグループ
E-MAIL:xct@yamato-net.co.jp
TEL: 03-5639-6045

主な仕様

仕様


型式 XVA-160αII“Z”
管電圧(KV) 20~160
ディテクタ FPD(フラットパネル)
外寸法(幅×奥行×高さ) 1400×1850×2030mm
ステージサイズ(mm) 490x490
ストローク(mm) 310x310
ステージ回転角度 -10~370
カメラ傾斜角度 0~60