製品情報
型式:SF-3
μmからmmの厚膜測定用組込み型分光器で、作りながら測る
高精度膜厚測定手法の定番である分光干渉式を採用した膜厚計。測定範囲を15から4500μmに絞った分光器。独自の解析法で最大5層までの対応可能
123(W)x128(H)x224(D)mmのボディーに分光器・光源・コントローラ一式を凝集。光ファイバーでフレキシブルに測定点へ誘導可能
1ポイント1ミリ秒以下の高速対応で短時間計測・経時変化計測可能。しかも、約20μmのスポット径、測定距離も50mm以上取れるプローブを装備
型式 | SF-3 |
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サイズ | 123(w)x224(D)x128(H)mm (ただし、SF-3/BB仕様は異なります) |
光源 | 半導体光源(クラス3B相当) |
最小サンプリング周期 | 5kHz (200マイクロ秒) |
測定スポット径 | 約φ20μm |
測定厚み範囲 | [シリコンの場合]5 - 1300μm、[樹脂の場合] 10 - 2600μm (ただし、SF-3のモデにより範囲は異なります。) |
外寸法(幅×奥行×高さ) | 123×224×128mm |
備考(寸法) | SF-3/200、SF-3/300、SF-3/1300仕様の寸法。 |
電源容量 |
DC24V
100VA |
重さ | 6kg |
備考(重さ) | SF-3/200、SF-3/300、SF-3/1300仕様の重量。 |
納品検収後1年