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製品情報

製品詳細

超高速分光干渉式厚み計

SF-3

型式:SF-3

SF-3/300タイプ

SF-3AAタイプ。高精度X-Yステージを組合わせた応用例

超高速分光干渉式厚み計(SF-3)

High Speed Thickness Monitoring System

  • 超高速分光干渉式厚み計(SF-3)

製品概要

μmからmmの厚膜測定用組込み型分光器で、作りながら測る

超高速分光干渉式厚み計(SF-3)の特徴

分光干渉式で厚膜領域を高精度、しかも、多層膜に対応

高精度膜厚測定手法の定番である分光干渉式を採用した膜厚計。測定範囲を15から4500μmに絞った分光器。独自の解析法で最大5層までの対応可能

組込み性を重視したコンパクト設計。光路系に光ファイバーを採用

123(W)x128(H)x224(D)mmのボディーに分光器・光源・コントローラ一式を凝集。光ファイバーでフレキシブルに測定点へ誘導可能

リアルタイム計測、取付け環境に優れた組込み厚膜センサー

1ポイント1ミリ秒以下の高速対応で短時間計測・経時変化計測可能。しかも、約20μmのスポット径、測定距離も50mm以上取れるプローブを装備

主な仕様

仕様


型式 SF-3
サイズ 123(w)x224(D)x128(H)mm (ただし、SF-3/BB仕様は異なります)
光源 半導体光源(クラス3B相当)
最小サンプリング周期 5kHz (200マイクロ秒)
測定スポット径 約φ20μm
測定厚み範囲 [シリコンの場合]5 - 1300μm、[樹脂の場合] 10 - 2600μm (ただし、SF-3のモデにより範囲は異なります。)
外寸法(幅×奥行×高さ) 123×224×128mm
備考(寸法) SF-3/200、SF-3/300、SF-3/1300仕様の寸法。
電源容量 DC24V
100VA
重さ 6kg
備考(重さ) SF-3/200、SF-3/300、SF-3/1300仕様の重量。

メンテナンス・保証内容


納品検収後1年