高感度化＋ 新イメージング技術により迅速な元素分析が実現

微小部X線分析装置（XGT-9000）の特徴

独自の集光技術により微小部を非破壊分析

独自の集光技術であるX線プローブにより、最小10µmの微小部を非破壊で分析できます。
・試料にX線を照射し、発生した蛍光X線を検出することで、定性分析ができます。
・透過X線像から光学像では見つけづらい異物などの発見が容易になります。
・蛍光X線と透過X線像による合成像によって迅速に測定部位を見つけることが出来ます。
・蛍光X線より元素の定性や定量マッピングが可能です。
・X線照射ビーム径を10µm～1.2mmから自由に選択できますので、目的に応じた組み合わせが可能です。（最大3本のプローブを搭載可能）

軽元素から広範囲の分析：炭素C（6）からアメリシウムAm（95）まで

目的に応じて全真空、Heパージ、部分真空、大気圧（全Air）で測定することが出来ます。
・全真空では軽元素である炭素Cから検出できます。
・真空に出来ない試料もHeパージ機構を用いることで測定可能です。

粒子解析ソフトによる自動分析

粒子検出機能（オプション）により、光学像、元素マッピング像、透過X線像から自動的に粒子のサイズ・位置を検出可能です。
・粒子は１つずつ粒子径（円換算）を計測できます。
・得られた1つ1つの粒子の座標から多点測定モードに移行でき、元素分析可能です。

多彩な機能を搭載したソフトウエア

XGT-9000ソフトウエアは多彩な機能を搭載しており、より精度の高い分析、効率的な測定を可能にします。
・スペクトル検索機能：未知サンプルを既知スペクトルとのマッチングで定性出来ます。
・多点分析：ポイント測定、ライン測定、グリッド測定など最大1000点の多点測定が出来ます。
・予約リスト機能：測定したいエリアを複数エリア予約することで効率的な測定を実現します。
・ピーク分離マップ：スペクトルのオーバーラップピークを独自のアルゴリズムでピーク分離することで、より正確な元素マッピングを得ることが出来ます。

XGT-9000の活用例

・電池：セパレータフィルム上の異物分析
・製薬：品質管理
・金属材料：腐食・汚染部位の表面解析
・電子部品：故障解析、RoHS指令
・半導体：膜厚測定
・生体試料：元素分布測定
・科学調査：証拠品・偽造品鑑定
・考古学：期限解析