| 型式 | 電子光学系：加速電圧 | 電子光学系：照射電流 | 試料室：搭載試料サイズ |
|---|---|---|---|
| SU3900SE/SE Plus | 0.5kV～30kV | 最大150nA | 最大 300mm径 高さ 130mm |
| SU3800SE/SE Plus | 0.5kV～30kV | 最大150nA | 最大 200mm径 高さ 80mm |
