型式 | 最小空間分解能 | 外寸法(幅×奥行×高さ) | 電源容量 | 重さ | 価格(税抜) |
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TDM1001-II | 0.5μm~ | 1700×840×1250mm | AC100V 30A | 1000kg | 49,000,000円 |
TDM1601-II | 0.25μm~ | 2100×1070×1560mm | AC100V 40A | 2000kg | 63,000,000円 |
TDM3001-FP | 10μm~ | 2600×1480×1950mm | AC100V 40A | 5500kg | 86,000,000円 |