| 商品コード | 型式 | 測定繰り返し性 | 測定スポット径 | データ出力形式 | 測定方法 | 測定膜厚範囲 | 多層対応 | 項目 | 外寸法（幅×奥行×高さ） | 重さ | 価格（税抜） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 540001 | SM-100P | 2.1σ 0.01 µm（シリコン酸化膜1 µｍ） | Φ1 mm以下 | USBメモリにテキスト形式でエクスポート | 反射分光法（光干渉法） | 0.1～100 µｍ サンプル屈折率が1.6の場合 | 最大3層 | Pro | 138×198×54mm | 1.1kg | 2,500,000円 |
| 540000 | SM-100S | 2.1σ 0.01 µm（シリコン酸化膜1 µｍ） | Φ1 mm以下 | USBメモリにテキスト形式でエクスポート | 反射分光法（光干渉法） | 1～50 µｍ サンプル屈折率が1.6の場合 | 1層 | Standard | 138×198×54mm | 1.1kg | 1,500,000円 |
