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粗さ・形状観察の主流は、電子顕微鏡、プローブ顕微鏡、白色干渉顕微鏡、レーザ顕微鏡など3次元計測でnm~µmの分解能を有する最新の機能を有した多機能観察装置が活躍しています。 本講演では、各種装置の特長と用途に合わせた使い分け、測定誤差の要素などを比較しながら解説します。
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