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PR200は環境にやさしく、手軽にご利用いただけるプラズマ装置です。
最小型化を実現しながら、研究開発用途におけるアッシング処理や高分子材料の表面改質処理、クリーニング、ドライ処理等の幅広い用途にご利用いただけます。

特徴

• プラズマ出力は最大200Wの高出力（発振周波数13.56MHz）
• 卓上でも使用可能なコンパクトサイズ
• オートチューニング機構を搭載の為、操作が簡単
• 等方性プラズマのため、フォトレジスト除去、MEMS、表面改質等の用途に使用可能

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