製品情報
商品コード：215050
型式：PB600
大型バレルタイプ、半導体プロセスに最適
アッシングに最適なDP方式のバレル型です。
半導体プロセスに対応します。
PB600型はパーソナルユース仕様になります。
簡単な設定で、自動運転が可能です。
安全機能を充実、非常スイッチ付きです。
| 商品コード | 215050 |
|---|---|
| 型式 | PB600 |
| プラズマモード | DP（ダイレクトプラズマ） |
| 電極構造 | 対向電極方式（分割方式） |
| 高周波出力 | 60～600W連続可変 ただし常用は500Wまで |
| 発振周波数 | 13.56MHz 水晶発振 |
| 電力増幅 | FET方式 |
| 制御・表示 | 液晶タッチパネル |
| 同調方式 | 自動＆手動 |
| 処理時間設定 | 1秒～1時間59分59秒 |
| 反応室 | 石英製 |
| 反応室内寸法 | 径250×長さ350（400）mm |
| 反応部温度 | デジタル表示 |
| 反応ガス | O2、CF4他 |
| パージガス | N2 /ドライエアー |
| 流量計 | 2系統 マスフローコントローラ |
| 真空計 | キャパシタンスマノメータ（0～1333Pa） |
| 真空ポンプ | ロータリ真空ポンプ（過負荷保護機構付）約300L/min |
| 非常停止スイッチ | 前面プッシュ式 |
| ガス導入口 | 1個（1/4"SUS製 スウェージロック） |
| パージガス導入口 | 1個（1/4"SUS製 スウェージロック） |
| 真空排気口 | 1個（1SUS製 NW25 フランジ） |
| 内寸法（径×奥行） | φ250×350mm |
| 外寸法（幅×奥行×高さ） | 500×700×720mm |
| 備考（寸法） | ※電源部・真空ポンプ部除く |
| 電源容量 | 三相 200V 20A |
| 重さ | 90kg |
| 備考（重さ） | ※電源部・真空ポンプ部除く |
必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について
あります。
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