製品情報
商品コード：215051
型式：PB1000SN
大型バレルタイプ、半導体プロセスに最適
アッシングに最適なDP方式のバレル型です。
半導体プロセスに対応します。
PB1000S型は大形チャンバーを装備しています。
簡単な設定で、自動運転が可能です。
安全機能を充実、非常スイッチ付きです。
| 商品コード | 215051 |
|---|---|
| 型式 | PB1000SN |
| プラズマモード | DP（ダイレクトプラズマ） |
| 電極構造 | 対向電極方式（分割方式） |
| 高周波出力 | 100～1,000W連続可 |
| 発振周波数 | 13.56MHz 水晶発振 |
| 電力増幅 | FET方式 |
| 制御・表示 | 液晶タッチパネル |
| 同調方式 | 自動＆手動 |
| 処理時間設定 | 1秒～1時間59分59秒 |
| 反応室 | 石英製 |
| 反応室内寸法 | 径300（350～450）×長さ500（550）mm |
| 反応部温度 | デジタル表示 |
| 反応ガス | O2、CF4他 |
| パージガス | N2 /ドライエアー |
| 流量計 | マスフローコントローラ 2系統 デジタル表示（CF4 0～300sccm）（O2 0～1,000sccm） |
| 真空計 | キャパシタンスマノメータ（0～1333Pa） |
| 真空ポンプ | ロータリ真空ポンプ 約1,000L～/min |
| 非常停止スイッチ | 前面プッシュ式 |
| ガス導入口 | 2個（1/4"SUS製 スウェージロック） |
| パージガス導入口 | 1個（1/4"SUS製 スウェージロック） |
| 真空排気口 | 1個（1SUS製 NW40 フランジ） |
| 内寸法（径×奥行） | φ300×500mm |
| 外寸法（幅×奥行×高さ） | 640×850×1695mm |
| 備考（寸法） | ※電源部・真空ポンプ部除く |
| 電源容量 | 三相 200V 30A |
| 重さ | 250kg |
| 備考（重さ） | ※電源部・真空ポンプ部除く |
必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について
あります。
サンプルテストやデモンストレーションのお申し込みは弊社WEBサイト受託試験お申し込みフォームから直接ご連絡戴くか、最寄りの弊社営業拠点或いは販売代理店にご連絡下さい。
受託試験お申し込みフォーム
https://www.yamato-net.co.jp/support/trustee/form/
※プラズマ装置の受託試験は現在中断致しております。
ご購入検討のサンプルテストまたはデモンストレーションのみの受付となります。
ヤマト科学営業拠点一覧
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/#sec05
ヤマト科学の全製品、及び一部取り扱いメーカーの製品カタログです。
製品に関するお問い合わせや資料請求、またその他あらゆるお問い合わせやご意見等、こちらからご送信いただけます。
