製品情報
型式：ISP500L
大型基板からインラインタイプまでカスタマイズ可能
プラズマの効果UPを図るため特殊電極構造を採用
RIE・DPの2モードが使用できる
自動制御により、操作は簡単
RF電源は高信頼性500Wの高出力
液晶タッチパネル制御方式
処理ワークに対して、振動など低ダメージ機構を備えている
| 型式 | ISP500L |
|---|---|
| プラズマモード | RIE（RIE/DP自動切り替えはオプション） |
| 電源（水晶発振） | 高周波電源 |
| 高周波出力 | 50～500W |
| 整合器 | 自動 |
| 電極サイズ | 幅250×奥行180mm |
| ガス系 | マスフロコントローラ 1系統（2系統はオプション） |
| 安全装置 | 各種安全装置付き |
| 制御方式PLC | タッチパネル |
| 内寸法（幅×奥行×高さ） | 344×230×45mm |
| 外寸法（幅×奥行×高さ） | 2000×2000×2000mm |
| 備考（寸法） | チャンバーサイズ（内寸法） |
| 価格（税抜） | 10,000,000円～ |
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