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製品情報

製品詳細

クリーンベンチオーブン

F-104

商品コード：F-104

型式：F-104

装置取付 ベンチ天井部へ静電除去装置取付

清浄度 オーブンとベンチの清浄度はクラス：100

クリーンベンチオーブン（F-104）

Clean Bench with Clean Oven

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  • クリーンベンチオーブン（F-104）

製品概要

用途例：半導体材料のクリーン熱処理

クリーンベンチオーブン（F-104）の特徴

製品特徴

クリーンオーブン2槽を装備し、ワークの前処理・熱処理・後処理をクリーン環境下で実現

製品特徴

ベンチ部には静電除去装置、オーブン部には窒素ガス導入装置を装備

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主な仕様

仕様


商品コード F-104
型式 F-104
使用温度範囲 室温＋30℃～200℃
温度勾配 8℃（at 90℃）
温度上昇時間 約60分
クリーン度 クラス100（オーブン・ベンチとも制御安定時）
内寸法（幅×奥行×高さ） 600×400×300mm
外寸法（幅×奥行×高さ） 1910×1680×2000mm
備考（寸法） ベンチ（幅×奥行×高さ）：1200×600×800mm
電源容量 単相 220V

備考
表示は特注品につき参考となります。都度ご照会ください。


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