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機器

マスフローコントローラ

MF-Fシリーズ

主な仕様

仕様


型式 ガス種 ボディー 応答速度 流量 流量測定範囲 外寸法(幅×奥行×高さ) 電源容量 重さ 価格(税抜)
MF-FP10N(NV付き) Air/N2 樹脂ボディー 50msec 0.5~50LM 3~100%F.S(精度保証範囲) 10×90×37mm AC100V 0.5A 0.11kg 57,000円
MF-FP10N(NV無し) Air/N2 樹脂ボディー 50msec 0.5~50LM 3~100%F.S(精度保証範囲) 9×65×37mm AC100V 0.5A 0.1kg 50,000円
MF-FS10C(NV付き) Air/N2/CO2/Ar SUSボディー(禁油) 50msec 0.5~50LM 3~100%F.S(精度保証範囲) 9×80×37mm AC100V 0.5A 0.07kg 80,000円
MF-FS10C(NV無し) Air/N2/O2/CO2/Ar SUSボディー(禁油) 50msec 0.5~50LM 3~100%F.S(精度保証範囲) 9×55×37mm AC100V 0.5A 0.07kg 70,000円
MF-FS10N(NV付き) Air/N2/CO2/Ar SUSボディー(禁油無し) 50msec 0.5~50LM 3~100%F.S(精度保証範囲) 9×55×37mm AC100V 0.5A 0.07kg 70,000円
MF-FS10N(NV無し) Air/N2/CO2/Ar SUSボディー(禁油無し) 50msec 0.5~50LM 3~100%F.S(精度保証範囲) 9×55×37mm AC100V 0.5A 0.07kg 60,000円