型式 | ガス種 | 応答速度 | 流量 | 流量測定範囲 | 外寸法(幅×奥行×高さ) | 電源容量 | 重さ | 価格(税抜) |
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CU-2130-E40 | 別途相談 | 1秒以内(T98) | 10~500SCCM、1~10SLM | 2~100%F.S(精度保証範囲) | 95×177×150mm | AC100V 0.3A | 1kg | 240,000円 |
CU-2140-E40 | 別途相談 | 1秒以内(T98) | 10~500SCCM、1~10SLM | 2~100%F.S(精度保証範囲) | 100×250×260mm | AC100V 0.3A | 2kg | 240,000円 |