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機器

マスフローコントローラ

CUシリーズ

主な仕様

仕様


型式 ガス種 応答速度 流量 流量測定範囲 外寸法(幅×奥行×高さ) 電源容量 重さ 価格(税抜)
CU-2130-E40 別途相談 1秒以内(T98) 10~500SCCM、1~10SLM 2~100%F.S(精度保証範囲) 95×177×150mm AC100V 0.3A 1kg 240,000円
CU-2140-E40 別途相談 1秒以内(T98) 10~500SCCM、1~10SLM 2~100%F.S(精度保証範囲) 100×250×260mm AC100V 0.3A 2kg 240,000円