製品情報
安定した低露点 低酸素雰囲気を提供致します
下部に循環精製装置を組込んでおり 水分、酸素共に1ppmの環境を作ることができます。
オプションで有機ガスの吸着フィルターを取り付け可能です。
タッチパネルで制御が簡単です。
| 型式 | - |
|---|---|
| ガスの種類 | 窒素ガス、アルゴンガス、ヘリュウムガス等 |
| 標準循環流量 | 6、20、30、60m3/h |
| 循環ガス圧力バランス | 装置入口；約-6kPa、出口；約0.3kPa |
| 不純物濃度 設計基準 水分 | 装置入口10ppm.vol（露点－60℃）、装置出口1ppm.vol（露点－76℃）以下、精製方法：水分吸着剤による吸着、再生方法：不活性ガスによるパージ |
| 不純物濃度 設計基準 酸素 | 装置入口1ppm.vol、装置出口0.1ppm.vol以下、精製方法：NiまたはCu触媒による化学吸着、再生方法：水素5～10％ガスによるパージ |
| 再生時間 | 24時間 |
| 精製容量（上記条件にて） | 72時間 |
| 操作方式 2筒式 | 2筒自動または手動切換連続精製 |
| 操作方式 単筒式 | 精製を停止して再生（再生は自動） |
| 循環ブロワー | ボルテックス式 |
| 置換用および圧力制御用真空ポンプ | 油回転真空ポンプ（オプション；ドライ真空ポンプ） |
| 接ガス部材質 | SUS304 |
| 循環ガス配管 | 配管径；20A（φ27.2）～40A（φ48.6）、接手；真空フランジまたはNWフランジ |
| 計装用空気、供給ガス配管 | 配管径；1/4インチ～3/8インチ、接手；くい込み継手 |
| 安全対策 | 非常停止、供給ガスおよび計装ガス圧力低下、吸着筒昇温異常、過熱、循環ブロワー過負荷、真空ポンプ過負荷、グローブボックス内圧力異常等 |
| グローブボックス 外寸（mm） | 幅1750×高さ1200×奥行800 |
| グローブボックス 材質 | SUS304 3t 内面＃400バフ研磨 電解研磨 |
| 圧力制御(自動) | 大気圧±1.5kPa内、ON-OFF制御 |
| 圧力制御(手動) | 大気圧±1.5kPa内、フットスイッチによる |
| 操作面 | 透明アクリル 10t |
| 蛍光灯 | 40Ｗ×１本 |
| グローブポート | 8″用4ヵ所、材質：ブチル 0.4t 9- 3/4″ |
| リーク量 | 1×10－4 Pa m3/sec |
| 安全対策 | グローブボックス内圧低下：－800Paでエントリーポート用真空ポンプおよびガス循環精製装置真空ポンプ停止 |
| 外寸法（幅×奥行×高さ） | 1750×800×2150mm |
| 電源容量 |
三相 AC200/220V
50/60Hz（不活性ガス循環精製装置）、三相AC200V15A 50Hz（グローブボックス） |
| 重さ | 400kg |
| 備考（重さ） | 不活性ガス循環精製装置 150kg，グローブボックス 250kg |
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