製品情報
型式：SP5
ウエハに１×ｎｍの加工を行う前に３００ｍｍ、４５０ｍｍサイズのベアウエハの異物を検査します。
高感度でウエハ上の異物を検査します。
高感度 高スループットにより低コストを実現しています。
SURF monitormによりウエハ表面形状の測定が可能です。
ヤマト科学の全製品、及び一部取り扱いメーカーの製品カタログです。
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