製品情報
液体の微小流量計測に適した液体マスフローメータ
世界初の冷却測定方式を採用した流量センサを搭載(2015年12月現在 堀場エステック社調べ)
デジタル回路の採用により、高精度・高速応答を実現いたしました。
気化器MV-2000との組み合わせにより、純水や液体材料の気化（ガス化）システムが構築できます。
| 型式 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
|---|---|---|---|---|---|
| フルスケール流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
| 流量測定範囲 | 5～100%F.S. | ||||
| 対応液種 | HCl,HFなどステンレスを腐食する液体を除く | ||||
| 液体粘度 | Max.0.1Pa・s(100cP) | ||||
| 流量精度 | ±1%F.S. | ||||
| 直線性 | ±0.5%F.S. | ||||
| 繰り返し性 | ±0.5%F.S. | ||||
| 使用可能周囲温度 | 5～50℃ | ||||
| 供給圧力範囲 | Max.5MPa(G)(マスフローメータ単体時) 50～300kPa(G) (ピエゾバルブと組み合わせ時) | ||||
| 流量出力信号 | アナログ:0～5VDC(最小負荷抵抗2kΩ) デジタル:RS-485 (F-Net Protocol ) | ||||
| 接液部材質 | SUS316L, Ni | ||||
| 駆動電源 | ＋15V±5% 200mA －15V±5% 200mA | ||||
| 標準継手 | 1/16,1/8,1/4インチSwagelokタイプ 1/8,1/4インチVCR Maleタイプ | 1/8,1/4インチSwagelokタイプ 1/8,1/4インチVCR Maleタイプ | 1/4インチSwagelokタイプ 1/4インチVCR Maleタイプ | ||
※精度、直線性、繰り返しは校正液に対する保証です。(SEMI規格 E56-1296準拠)
※計測・制御を行う液体温度が周囲環境温度より低い場合は、その差を10℃以内、または液体温度が高い場合はその差3℃以内でのご使用をお願いします。
ヤマト科学の全製品、及び一部取り扱いメーカーの製品カタログです。
製品に関するお問い合わせや資料請求、またその他あらゆるお問い合わせやご意見等、こちらからご送信いただけます。
