自動位置決め機能により、試料台の上にサンプルを置くだけ。
試料観察光学系の焦点を数秒以内に自動合わせ。
手動の焦点合わせの操作が不要でスループットが格段に向上。

蛍光X線膜厚計（FT110A）の特徴

試料を置くだけで測定可能

自動位置決め機能により、サンプルを置くだけで、数秒以内に試料観察光学系のフォーカスを合わせます。

50nmの薄金メッキの膜厚を10秒で測定

最適レイアウトで微小ビームの高感度化を実現し、微小コリメータ（φ0.1、0.2mm）での膜厚測定精度が向上しました。

標準試料なしの測定が可能

薄膜FPソフト拡充により、厚み標準物質なしでも測定が可能です。多層膜や合金膜の測定が簡単に行えます。

広域観察システムによる簡単位置決め

広域観察システムにより、試料全体像（最大250×200mm）を観察し、特定部の測定位置を容易に指定することができます。