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製品情報

製品詳細

製品概要

クリーン環境で酸化を抑えながら高温処理

クリーンイナートオーブン(DTH630I)の特徴

主な用途

電子材料・部品、基板、ディスプレイなどのキュアベーキングアニール処理

基本性能

温度:MAX500℃
O₂濃度:10ppm以下
クリーン度:クラス100/JISクラス5相当
(詳細はカタログ参照)

代表的なカスタマイズ事例

酸素濃度計 常時槽内のモニターが可能

液晶モニター 温度プログラム設定・表示、酸素濃度の表示と設定濃度による加熱開始が可能

安全装置 非常停止スイッチ、運転表示灯 他