持ち込みデモ可能！ガス分析専用の超高感度FT-IR
高純度ガスの品質確認から、連続フローガスの濃度モニタリングまで。 FT-IRの利点をそのままに、数ppb～pptの検出下限を実現

FT-IRガスアナライザー（MAX-iR）の特徴

MAX-iRとは？

インラインプロセス、ガスの品質管理、ガス純度・認証、連続排気ガスモニタリング、および環境大気モニタリング用に設計されたFT-IRガスアナライザーです。ガスクロマトグラフィー（GC）とは異なり、サンプル濃度の急速な変化をリアルタイムで測定できます。広いダイナミックレンジを有し、検出下限はGC/MSにも匹敵するppb～pptオーダーです。

活用例

・高純度バルクガス（N₂、Ar、He、H₂、CO₂など）
ガス純度認証試験、飲料用CO₂純度測定（ISBT）、水素ガス中の不純物
・環境・自動車
自動車排ガス、燃焼ガス、エチレンオキシド、HAPs（有害大気汚染物質）、VOC、連続排出量監視（CEMS）、ホルムアルデヒド
・エネルギー
DAC（直接空気回収）、バイオマス、発酵、嫌気性消化により排出されるシロキサン
・半導体
有機フッ素化合物（PFCs）、エッチングガス、シロキサン、クロロシラン、ウエハー洗浄用のバルクCO₂
・石油化学
プロセスや除害設備にフローする有害汚染物質、エチレン中のアセチレンやメチルアセチレン、エタン中のHCl、C-1～C-5の炭化水素、CO、CO₂、H₂O、アルコール類、アルデヒド類、芳香族化合物
・火災安全科学
HClやHFなどの煙毒性ガス、電池材料の燃焼ガス

迅速測定

・レスポンス1秒で結果が得られるのでリアルタイム測定ができ、連続モニタリングも可能

現場でのその場試験も可能

・湿潤環境でも使用できるZnSe光学系
・振動減衰機能により厳しい現場環境でも動作可能
・コンパクトサイズ（482.7 x 654 x 222.3 mm、34kg）*MAX-iR本体のみ

優れたメンテナンス性

・長寿命（ライフタイム＞10年）のSiC赤外光源、VCSELダイオードレーザー
・液体窒素冷却無しで使用できる検出器（DTGS、オプション電子冷却MCT & InAs）

高感度かつダイナミックレンジ

・検出限界：10ppb（DTGS）、100ppt（オプションStarBoostテクノロジー搭載）
・%からpptまで、幅広いダイナミックレンジに対応

独自技術のStarBoostテクノロジー（オプション）

・光学フィルター搭載により、測定する波長領域以外の光をカットし、測定領域内の感度を向上
・S/N比 >10,000,000、検出下限100pptの高感度測定が可能

日常的なキャリブレーション作業が不要

・従来のFT-IRで課題となっているバックグラウンドのドリフト現象を排除（オートリファレンス機能）

MAX-iRアクセサリ

MAX-iRシリーズラインナップ