製品情報
一般市場向けのエコノミーモデルのマスフローコントローラ
生産設備から各種実験・評価システムの正確なガス流量制御に活躍するエコノミーマスフローコントローラです。
24V電源駆動モデルもラインナップし、幅広い産業分野でご使用可能です。
・ アナログ通信エコノミーモデル
・ 電源, DC±15V、DC＋24Ｖ
・ 信号出力：4-20mA, 0-5Ｖ, 1-5Ｖ, 0-10V
・ 流量精度：±1% F.S.
・ 応答速度：2秒以内（T98）
・ バルブフルクローズ機能・オートゼロ調整機能搭載
・ ラボ：各種実験用ガス流量制御機器 等
・ 一般産業：バーナーガス制御、雰囲気ガス制御、混合ガス発生、通気量計測 等
・ 研究・開発：各種ガスセンサー性能評価機器
| S-48-32 | S-48-28 | ||
| 接ガス部材質 | SUS316L、バイトン（EPDM オプション）、PTFE、磁性ステンレス | ||
| 標準流量レンジ （N2換算流量フルスケール） | (10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (100,150,200)SLM | |
| 流量制御範囲 | 2～100% F.S. | ～100% F.S. | |
| 流量精度 | ±1.0% F.S. （15～35℃） | ||
| 直線性 | ±0.5% F.S. （15～35℃） | ||
| 繰り返し再現性 | ±0.2% F.S. （15～35℃） | ||
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