型式 | 最大流量 | 純度 | 炭化水素含有量 |
---|---|---|---|
Precision Nitrogen 250cc | 250cc/min | 99.9995% | ー |
Precision Nitrogen 600cc | 600cc/min | 99.9995% | ー |
Precision Nitrogen 1L | 1000cc/min | 99.9995% | ー |
Precision Nitrogen Trace 250cc | 250cc/min | 99.9995% | 0.05ppm以下 |
Precision Nitrogen Trace 600cc | 600cc/min | 99.9995% | 0.05ppm以下 |
Precision Nitrogen Trace 1000cc | 1000cc/min | 99.9995% | 0.05ppm以下 |