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ヤマト科学仕入先メーカー

メーカー辞典【ケーエルエー・テンコール株式会社】

企業データ

ケーエルエー・テンコールは、40年にわたり半導体産業およびその関連業界のプロセス制御分野のリーダーであり、革新的な光学系、センサー、高性能コンピューティングを擁する検査装置、計測装置ならびにデータ解析システムの開発と製造を行っています。

注力分野

ウエーハ製造からデバイスプロセス歩留りまで管理する欠陥検査装置、計測装置です。

技術動向

ひたすら集積度を上げる方向でこれまで進化を遂げてきた。集積度を上げるために10µm(ミクロン=1/100mm)時代から始まった集積回路(IC)はひたすら微細化を実現し、今最先端の製品技術は14nm(ナノメーター)の技術までやってきている検査、計測に使用する装置です。