| SEMICON Japan2007が、12月5日（水）～12月7日（金）までの3日間、幕張メッセ(日本コンベンションセンター)で開催されます。 |
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ヤマト科学は本年度もSEMICON Japan2007に出展させて頂く事になりました。 |
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弊社では皆様の技術革新をサポートすべく、非破壊内部観察をより高精度に行う事ができるX線CT装置や、KLA-Tencor社製接触/非接触表面形状測定装置等の形状観察・測定装置を始め、微細ドライ洗浄及びプラズマアッシング装置や各種熱処理にご使用いただける恒温器等、前工程から後工程、R&Dから製造に至るまで幅広い用途にマッチした商品を展示致します。 |
| 是非ご来場の上、弊社ブースにお立ち寄り頂けます様、お願い致します。 |
| 会場のご案内 | |
| 名 称 | SEMICON Japan 2007 |
| 日 時 | 2007年12月5日（水）～12月7日（金） 3日間 10：00～17：00 |
| 場 所 | 幕張メッセ |
| ヤマト科学出展ブース | 5ホール（5C-814） |
| 入場料 | 無 料 （詳細はSEMICON Japanホームページをご覧下さい ） |
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出 展 内 容 |
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| ◆ | 多段式プラズマドライクリーニング装置PDC610 ＜新製品＞ |
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IC基板用枚葉自動プラズマクリーニング装置 (パネル展示) |
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遠赤外線オーブン DIR630(IRオーブン) |
| ◆ | 段差・表面粗さ・微細形状測定装置 P16＋（KLA-Tencor社製） |
| ◆ | 300mm対応 段差・表面粗さ・表面微細形状測定装置 P16＋ Open Frame（パネル展示） |
| ◆ | 非接触式三次元表面形状測定装置MicroXAM (KLA-Tencor社製) ＜新製品＞ |
| ◆ | 卓上顕微鏡TM1000（日立ハイテク社製） |
| ◆ | デジタルマイクロスコープ KH-7700（ハイロックス社製） |
| ◆ | ウェーハ用薄膜ストレス測定装置 FLX-2320S（東朋テクノロジー社製、パネル展示） |
| ◆ | 試験機用純水製造装置（日本ミリポア社製） |
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精密粒度分布測定装置Multisizer3 (ベックマン・コールター社製) |
＊出展装置に関しましては予告無く変更になる場合がございます。予めご了承下さい。
| 本件に関するお問い合わせ先 |
エレクトロニクス営業統括部 中山逸夫 |
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