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製品情報

製品詳細

製品概要

従来の顕微鏡を超える性能と全く新しい観察・測定法

光波動場三次元顕微鏡(MINUK)の特徴

1.フォーカス不要で高速測定前の前処理が不要です。

サンプルを置いた瞬間からリアルタイム測定が可能です。

2.3次元測定 立体的視覚化と具体的に数値化出来ます。

測定したい部分で“3D形状ボタン”を押すことで立体的(3D)に視覚化することができます。下記の写真が立体的視覚化した画像になります。傷の幅や深さをX/Y/Z軸方向で数値化することができます。

3.nmオーダーの透明な傷や異物の評価

形状情報を非接触・非破壊で取得出来ます。透明な物の中にあるフィラーやゲル異物もクリアに可視化定量*1が可能です。
*1可視化定量とは光路差の違いによりフォーカス位置、深さ位置、異物の大きさを数値化することが出来ます。

4.ワンショットで高さ方向の情報を取得出来ます。

高さ方向の情報も併せて取得することにより、目視では見えない透明フィルム表面の傷や欠陥の断面形状を可視化し数値化することが可能で再解析も可能です。

5.全面高速マッピング

スティッチング機能*2を搭載しているため観察したい場所をすぐに確認できます。高速で広範囲の情報を得ることが可能です。
*2スティッチング機能とは、1ショット700×700µmの撮影範囲を連続して測定しながら広範囲をスキャニングする機能


測定する対象物によって2つの観察モードの使い分けが可能です。

●明視野モード
不透明で影が出来るようなサンプルに最適です。


●OPD(optical path difference)モード
光の波面の遅れや進み(光路差)を可視化するモードです。透明なサンプルの観察に最適です。光は波面状に直進するが媒質により波面に変化が生じるためその変化を捉えています。

主な仕様

仕様


型式 MINUK
分解能 x,y 691nm(ワンショット)、488nm(合成)
視野 x,y 700×700µm
分解能 z 10nm(位相差
視野 z ±700µm
サンプルサイズ 100×80×20mm(汎用サンプルホルダ取付時)
サンプルステージ 微動XYステージ(自動)
X:±10mm Y:±10mm
粗動ステージ
X:129mm Y:85mm
レーザー 波長 638nm
出力 0.39mW 以下 Class1 (測定試料への照射強度)
外寸法(幅×奥行×高さ) 505×630×439mm
備考(寸法) ※PC、付属品は含まず
電源容量 290VA
※PC、付属品は含まず
重さ 41kg