新着情報

成膜、加工プロセスご担当者様に"新技術"をご提案。
超高速・高精度にウェーハの厚み分布を測定し品質向上を実現します。
更にΦ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応する事でウェーハ搬送のムダをカットし工程削減も実現します。

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