必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について

１．非常停止ボタンが押し込まれていませんか。
ブレーカーを切り、非常停止ボタンをひねって押される前の状態にし、ブレーカーを入れ直して下さい。
２．側面の板を外しませんでしたか。
ブレーカーを切り、側面の板が浮いていたら取付けビスを締め直してしっかり固定し、ブレーカーを入れ直して下さい。

可能です。
但し部品コードはありませんので、必要な部品と装置型式をご指定の上、本体をご購入いただきました販売窓口担当者あるいは弊社WEBサイトのお問合せフォームからお見積りをご依頼ください。

真空ポンプと真空配管は付属しています。
ただし油回転真空ポンプのスタンダードタイプが標準付属仕様となるため、耐食性タイプやドライタイプへの変更が必要な場合は別途お見積りとなります。

真空ポンプ自体の排気経路にはオゾンの発生源となるものが無いので、装置の構造上オゾンが排気口から排出される可能性は考えられません。

吸気側につながっている装置からオゾンが発生している場合は本回答の適用外となりますのでご注意下さい。