設備と機器の融合実験設備（ラボキューブ）
組み合わせ例
純水製造 |
冷却水循環 |
|
|---|---|---|
WL320A/320B洗浄用純水製造装置ユニット |
CF820外部密閉系冷却水循環装置ユニット （2系統使用循環式） |
CF321P外部密閉系冷却水循環装置ユニット （溶媒回収装置内蔵） |
