日立イオンミリング装置の最上位機種

イオンミリング装置（ArBlade^® 5000）の特徴

概要

ついにクラス最速の断面ミリングレートを達成しました。高スループット断面ミリングによって、電子顕微鏡用の断面試料作製がさらに身近になりました。
^*ArBlade^®は、日本国内における株式会社日立ハイテクの登録商標です。

断面ミリングレート1mm/h^*1到達！

イオンビームのさらなる高電流密度化を図った新開発のPLUSIIイオンガンによりミリングレートが大幅に向上^*2しました。
^*1マスクエッジからSiを100μm突出させて1時間加工した際の最大深さ。
^*2当社製品（IM4000PLUS:2014製）比で2倍のミリングレートを実現。

断面ミリング結果比較
（試料：シャープペンシルの芯、ミリング時間：1.5時間）

　

最大断面ミリング幅10mmまで拡張！

ワイドエリア断面ミリングホルダにより断面ミリング加工幅を10mmまで拡張できるので、広領域ミリングが必要とされる電子部品などには有効です。

ハイブリッドタイプのミリング装置

IM4000シリーズで定評のあるハイブリッドタイプ（断面ミリング、フラットミリング^®）のイオンミリング装置です。
これにより目的に応じた試料前処理が可能です。

^*フラットミリング^®は、日本国内における株式会社日立ハイテクの登録商標です。

断面ミリング
割断や機械研磨では困難な柔らかい材料や複合材料の断面作製


フラットミリング
機械研磨試料の最終仕上げや試料表面の清浄化

オプション：冷却温度調整機能^*1

イオンビーム照射による試料の温度上昇が原因で、加工中に融解や変形する試料に有効なシステムです。過冷却による試料の割れなどを生じる試料には、冷却温度の調整機能によって、過冷却による試料の割れなどを防止することも可能です。

冷却温度調整機能付きArBlade5000*1
^*1冷却温度調整機能はArBlade5000本体と同時出荷オプションです。

試料：ウッド合金
　

オプション：加工時観察用実体顕微鏡

最大100倍でミリング中の試料を観察できる実体顕微鏡です。
CCDカメラ^*2が搭載できる三眼タイプではモニター観察が可能です。
右図の三眼タイプの他に双眼タイプも準備しています。

^*2CCDカメラおよびモニターはお客さま準備品です。