必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について

弊社南アルプス工場　R&Dセンター内　試験室に設置されています。
南アルプス工場所在地情報
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/#sec04

サンプルテストやデモンストレーションのお申し込みは弊社WEBサイト受託試験お申し込みフォームから直接ご連絡戴くか、最寄りの弊社営業拠点或いは販売代理店にご連絡下さい。
受託試験お申し込みフォーム
https://www.yamato-net.co.jp/support/trustee/form/
※プラズマ装置の受託試験は現在中断致しております。
　ご購入検討のサンプルテストまたはデモンストレーションのみの受付となります。
ヤマト科学営業拠点一覧
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/#sec05
販売代理店網
https://www.yamato-net.co.jp/company/agency/

左側面板を外すと、処理モードをDP方式とRIE方式に切り換える切換ボックスがあります。
運転を始める前にどちらの処理方法にするか決めて、該当する状態に切換バーを設定してください。
（1）切換ボックスの前面透明板を外します(Ｍ4ネジ6本)
（2）赤色表示された4本のネジ（M5）をゆるめます。ネジを取り外す必要はありません。
（3）所定のモードの状態に切換バーを設定し、4本のネジで固定します。
（4）透明板を取り付け、左側面板を取付けます。
（5）操作電源を投入すると、正面パネルに設けられたモード状態の表示灯が点灯しますので確認してください。
※切り替えバーの状態の図は取扱説明書にてご確認ください。

真空ポンプと真空配管は付属しています。
ただし油回転真空ポンプのスタンダードタイプが標準付属仕様となるため、耐食性タイプやドライタイプへの変更が必要な場合は別途お見積りとなります。

100mmです。

焦げた部分に出っ張りなどがあった場合は異常放電を起こした可能性があります。
ガラスなどの絶縁物質をステージ上に敷いて、異常放電を防げるか試してください。

真空ポンプ自体の排気経路にはオゾンの発生源となるものが無いので、装置の構造上オゾンが排気口から排出される可能性は考えられません。

吸気側につながっている装置からオゾンが発生している場合は本回答の適用外となりますのでご注意下さい。