必要です。
詳細は下記ページをご参照ください。
≫ 高周波利用設備許可申請について

東京都所在の弊社門前仲町別館　１階試験室に設置されています。
門前仲町別館　所在地情報
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/

サンプルテストやデモンストレーションのお申し込みは弊社WEBサイト受託試験お申し込みフォームから直接ご連絡戴くか、最寄りの弊社営業拠点或いは販売代理店にご連絡下さい。
受託試験お申し込みフォーム
https://www.yamato-net.co.jp/support/trustee/form/
※プラズマ装置の受託試験は現在中断致しております。
　ご購入検討のサンプルテストまたはデモンストレーションのみの受付となります。
ヤマト科学営業拠点一覧
https://www.yamato-net.co.jp/company/location/
販売代理店網
https://www.yamato-net.co.jp/company/agency/

可能です。
但し部品コードはありませんので、必要な部品と装置型式をご指定の上、本体をご購入いただきました販売窓口担当者あるいは弊社WEBサイトのお問合せフォームからお見積りをご依頼ください。

RF短絡異常のアラーム表示です。
真空度が高すぎるか低すぎるため、プラズマが発生していない可能性があります。
ガスの流量を調整してください。
ガスを止めてしまうと圧力上限を超えるため、ガスボンベのバルブが閉まっていないか、ガスがなくなっていないか、流量計が閉まっていないかなどを確認してください。
ガス流量を大きくしすぎると圧力下限である－90KPaよりも大きい数値になる可能性がありますので、-90KPaを超えている場合はガス流量を絞ってください。
真空ポンプのオイル劣化などで排気能力が落ちていると圧力加減値を超えることがありますので、オイルが劣化しているようなら交換してください。
以上に当てはまらない、解消しても復旧しない場合は高圧電源の故障が考えられるため、ご購入いただきました販売窓口担当者か、お客様サポートお問い合わせお申し込みフォームに点検・修理をご依頼ください。

ガスは供給されていますか。
ガスの元栓が開いているか確認してください。
GASスイッチがONになっているか確認してください。
以上を確認し問題ない場合はRF電源が故障している可能性があります。
ご購入いただきました販売窓口担当者または　お客様サポートお問い合わせお申し込みフォームに点検・修理をご依頼ください。

真空ポンプの電源コードが確実に接続されているか確認してください。
真空ポンプの電源スイッチがONになっているか確認してください。
真空ポンプまでの真空配管が抜けたり外れたりしていないか確認してください。
扉が確実に閉まっているか確認してください。

真空配管のゆるみや扉パッキンのはずれ・劣化などから真空漏れをしていないか確認してください。
真空配管はいったん外して再度クランプを締め直し、扉パッキンははずれていれば取り付けなおし・劣化していれば交換してください。
ガス量が適正か確認してください。
極端に多すぎたり少なすぎるとマッチング調整の許容を超えて反射波が大きくなる傾向がありますので、流量を調整してみてください。
処理対象物が多すぎる場合も反射波が大きくなる傾向があります。
処理量を減らして改善するかご確認ください。
 

付属していません。
真空配管や接続部品も必要となります。
真空ポンプ及び真空配管・接続部品は型式により異なります。
詳細は販売代理店、近隣の弊社営業拠点、弊社WEBサイト　お客様サポートお問い合わせお申し込みフォームにお問い合わせください。

NW25フランジとなっています。

あります。
アプリケーション情報の提供やサンプルテストの実施も可能です。
ご希望がございましたら、弊社WEBサイト　お問い合わせお申し込みフォーム　へご連絡いただければ、折り返し担当者よりご連絡申し上げます。

①3つチャンバーがあり、作業現場が違う3つのサンプルを同時処理出来る。
②試料皿 小・試料皿 大・試料棚が各4個ずつ標準付属されているので、架台を作成したり別途準備する必要がない。
③2006年から数多くの納入実績や実験実績を有している。
以上の理由からPR300が推奨となります。
PR200も実績を積みあげてきており、PR300に付属している試料棚が1個付属されていて、オートチューニングであるというアドバンテージもあるので、最近ではPR200も同時に推奨いたしております。