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半導体工程に組み込まれる表面形状測定から膜厚測定、異物・欠陥検査装置等をはじめ、接触・非接触での表面段差粗さ測定装置、プローブ顕微鏡、FIB、デジタルマイクロスコープ、非接触形状観察装置、非破壊内部観察装置など、あらゆる用途に対応するために様々な測定方式の装置を各種取り揃えております。
各種電子デバイスや精密機器の試作に必要な小型スパッタリング/蒸着装置や、精密機器の耐久性を評価する各種試験機器及びそれら試験機に必要な加湿用純水供給システムなどの周辺機器、各種物理物性試験機、不良解析を行う為の非破壊内部観察装置、生体サンプル保管用超低温フリーザなど、お客様の品質管理に必要な機器を取り揃えております。
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元素分析や各種定量・同定に使用される汎用分析機器をはじめ、非破壊内部観察のX線CT装置、粒度分布測定装置、熱分析装置など、あらゆる分析に対応した装置を取り揃えております。
半導体・MEMS・電子デバイスの内部欠陥解析、各種材料(金属・高分子等)の空孔やクラック・フィラーの観察、錠剤・顆粒の内部観察等、様々な用途において非破壊検査装置はより高い分解能・高解像度を求められてきています。ヤマト科学では最高クラスの分解能・高解像度を実現した三次元マイクロフォーカスX線CT装置を取り揃えております。
小動物用コンパクトMRIminiSAは、創薬研究やバイオ関連の研究で生きたままのラット、マウスが非侵襲で経時観察できる装置です。永久磁石回路使用の高感度MRIです。
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